微電子行業(yè)潔凈空調系統(tǒng)的空氣過濾器（HEPA/ULPA）安裝密封與維護

在微電子行業(yè)中，潔凈空調系統(tǒng)的HEPA過濾器（HEPA/ULPA）安裝與密封是確保生產環(huán)境潔凈度的關鍵步驟。以下是詳細的流程與注意事項：

安裝前準備材料與設備檢查：
確認HEPA過濾器型號、規(guī)格符合設計要求（如過濾效率、尺寸、框架材質等）。檢查密封材料（如硅膠墊片、液槽密封膠）的兼容性與有效期，避免化學污染。在潔凈室中操作，確保安裝區(qū)域達到所需潔凈等級（如ISO Class 5或更高）。提前清潔安裝框架及周圍區(qū)域，使用無塵布和酒精去除灰塵、油污。操作人員穿戴防靜電服、手套、口罩，避免人體污染或靜電損壞過濾器。

安裝步驟
用無塵布蘸取異丙醇或酒精擦拭安裝框架，確保無顆粒殘留。確認過濾器氣流方向箭頭與系統(tǒng)設計一致，避免反向安裝導致效率下降或破損。避免碰撞濾紙，搬運時使用專用工具或雙手托住邊框。將過濾器平穩(wěn)放入安裝框，使用螺栓或壓條均勻緊固，力度適中以防變形。
密封方式選擇

機械壓緊密封：使用彈性墊片填充縫隙，通過壓緊裝置施加均勻壓力。適用于FFU或小型過濾器，需定期檢查墊片老化情況。

液槽密封：在安裝框密封槽內注入惰性密封膠，嵌入過濾器邊框，固化后形成無縫隙密封。需控制膠水用量，避免溢出污染濾材，固化時間依環(huán)境溫濕度調整。

負壓密封：通過系統(tǒng)負壓使過濾器緊貼安裝面，需確保框架平整度高。

泄漏監(jiān)測與驗證 PAO/DOP檢漏測試：在上游釋放PAO氣溶膠，下游用光度計掃描邊框及濾紙，泄漏率需≤0.01%（ULPA）或≤0.03%（HEPA）。若發(fā)現泄漏，重新調整壓緊力度或補充密封膠。確認過濾器面風速均勻（通常0.45±0.1 m/s），壓差在正常范圍內（初始壓差≤200Pa）。

維護與更換定期檢查：每月檢查密封材料狀態(tài)，更換老化墊片或補膠。當達到初始壓差2倍時需更換過濾器。記錄安裝日期、檢漏數據、壓差變化及維護操作，確保可追溯性。在干燥環(huán)境中操作時，使用防靜電工具防止靜電放電損傷濾材,通過嚴格遵循上述流程，可確保HEPA過濾器的安裝與密封質量，保障微電子生產環(huán)境的穩(wěn)定性和產品良率。

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